Презентация курса

 

Записаться на курс

О курсе: Основной задачей образовательного курса «Технологии планарного производства» является формирование у обучающихся понятия об основных физических принципах ключевых элементов микроэлектронного производства, к которым относятся процессы подготовки подложек, эпитаксии и осаждения, окисления, диффузии, ионной имплантации, металлизации. В курсе подробно рассматриваются технологические процессы изготовления СБИС, методы сборки и герметизации, контроля и диагностики получаемых изделий. В завершении курса представлен взгляд на перспективы дальнейшего развития микро- и наноэлектроники. Образовательный курс состоит из 14 учебных модулей и итогового экзаменационного/зачетного теста.

Даты ближайшего запуска: сентябрь 2021 года.

Длительность: 17 недель.

Трудоемкость: 2 зачётные единицы.

Трудозатраты: 3 часа в неделю.

Содержание курса:

  1. Введение.
  2. Подготовка подложек.
  3. Эпитаксия.
  4. Осаждение окисных пленок.
  5. Диффузия.
  6. Окисление.
  7. Ионная имплантация.
  8. Литография.
  9. Травление.
  10. Металлизация.
  11. Технологии изготовления СБИС.
  12. Методы сборки и герметизации.
  13. Методы контроля и диагностики.
  14. Перспективные направления развития микро- и наноэлектроники.
  15. Итоговый контрольный тест.

О преподавателях: 

   Барабан Александр Петрович, д.ф.м.н., профессор, зав. кафедрой Электроники твердого тела СПбГУ

   Климов Игорь Викторович, к.ф.м.н., доцент, кафедра Физики твёрдого тела ПетрГУ

   Коток Виктория Александровна, бакалавр "09.03.01. Информатика и вычислительная техника", инженер I-ой категории

Формируемая компетенция: Cпособность свободно владеть разделами физики, необходимыми для решения научно-инновационных задач, и применять результаты научных исследований в инновационной деятельности (ПК-2).

Результат:

  • ПК-2.1. Выявляет естественнонаучную сущность проблем в планарном производстве.
  • ПК-2.2. Знает основные технологические приемы, используемые в современном планарном производстве.
  • ПК-2.3. Формулирует задачи и определяет пути их решения на основе оценки эффективности выбора с учетом специфики физических основ технологий планарного производства.

Направления подготовки и специальности:

  • 03.04.02 – физика функциональных материалов
  • 09.04.01 - информатика и вычислительная техника
  • 11.04.04 - электроника и наноэлектроника
  • 12.04.01 – приборостроение

Адрес электронной почты администратора: iklimov@petrsu.ru